- Ganzscheibenbelichtung
- fэкспонирование по всему полю полупроводниковой пластины
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen. 2013.
Ganzscheibenbelichtung
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Stepper (Halbleitertechnik) — Stepper (links:MA 6) und Mask Aligner (rechts: MJB3) unter photochemisch unwirksamer Beleuchtung („Gelblicht“) Ein Stepper (auch Wafer Stepper) ist in der Halbleitertechnik ein Anlagentyp bzw. ein Funktionsprinzip für die fotolithografische… … Deutsch Wikipedia
